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30. Juni 2012 | Anwendungen

Neue Investitionen in die Halbleiterforschung

Am Fraunhofer IISB in Erlangen wird gerade eine neue Anlage zur Ionenimplan-tation in Betrieb genommen. Das knapp 15 Tonnen schwere und rund 3 Mio. Euro teure Großgerät wird im gemeinsam mit dem IISB betriebenen Reinraum der Universität Erlangen-Nürnberg aufgestellt.




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